清華大學無錫應用技術研究院集成電路創(chuàng)新服務平臺
Thermo Scientific K-Alpha XPS
1、主要功能及應用范圍：X射線光電子能譜儀可以分析固體樣品表面除氫、氦以外的所有元素，包括元素種類及價態(tài)。并可以測定元素相對含量的半定量分析。通過角分辨法及Ar離子剝離法可以提供元素深度分布信息。廣泛應用于研究聚合物、無機化合物、有機化合物、催化劑、涂層材料、納米材料、礦石等各種材料。附件有紫外光電子能譜（UPS）。
2、主要規(guī)格及技術指標：分析區(qū)域大小：20μm-900 μm; 單色化XPS靈敏度（大面積）：Ag3d5/2(FWHM≤0.6ev) 強度大于106 CPS; 能量分辨率（Ag3d5) ≤ 0.5eV (@靈敏度優(yōu)于400kcps)。UPS能量分辨率：Ag費米邊（20%~80%）≤100meV。
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